ターゲットからの輻射熱を利用した等方性Fe-Pt系磁石膜の作製

摘要

これまで我々は，PLD（Pulsed Laser Deposition）法を用い，数10μm／h程度の成膜速度下でFe-Pt系厚膜磁石を作製する際，ターゲットからの輻射熱を利用した規則化手法により，ヒータを用いた基板加熱やポストアニーリングを施すことなく硬磁気特性が発現する現象を見出してきた。これまで，数100 kA／mの保磁力を得る一方，残留磁化は0.7T程度に留まっており，更なる特性向上が望まれる。本稿では，試料中のFe含有量を増加させ，0.9T以上の残留磁化と100kJ／m~3以上の（BH）_(max)を達成したので報告する。