パルスレーザー堆積法によるDLC太陽電池の作製～リンの濃度変化による光学的特性と電気的特性

摘要

近年、環境破壊の原因として、化石燃料による二酸化炭素の増加が問題視されているため、化石燃料に代わる新たなエネルギーが必要となってきており、クリーンなエネルギーである太陽電池に注目が集まっている。そこで著者等はダイアモンド状炭素(DLC)薄膜のアモルファス半導体特性に注目し、これにパルスレーザー堆積法で不純物をドープすることにより可視光透過、紫外光吸収の透明太陽電池の作製が可能であると考えた。既製においては不純物をボロンとして、p型DLC 薄膜の作製を行ったが本稿は不純物にリンを用いてn型DLC 薄膜の作製を行い、不純物濃度の違いによる光学的特性、電気的特性について報告する。