弾力性制御によるシリコン集積化スマート触圧覚イメージセンサの広ダイナミックレンジ動作

摘要

人間共存型ロボットの高度化につれて、検知の対象を人間とする敏感かつソフトな高分解能触覚センサが必要とされる。これまで我々は、半導体歪ゲージ（ピェゾ抵抗）を1画素とする圧力検知回路をアレイ状に形成し、全体を1枚のダイヤフラムに加工して柔軟性を実現したスマート触圧覚イメージセンサを提案している（図1）。物体の接触とそれによって生じる接触圧を2次元分布量として取得できる。また、ダイヤフラムに印加する空気圧を制御することによって素子表面の弾力性を可変にできる。本稿では、素子表面の弾力性と触圧覚検出特性の関係に着目し、弾力性制御による素子の広ダイナミックレンジ動作について検討したので報告する。