CF_4混合時におけるAr-CO_2誘導熱プラズマの温度分布解析

摘要

これまでに当研究室では，CO_2を数%混人することで誘導熱プラズマの温度が著しく低下することを見いだしてきている。さらには，実規模のCO_2遮断器モデルが開発されている。一方，遮断器ノズルには現在PTFE[-CF_2-CF_2-]_nが主に用いられている。このPTFEはアークプラズマに接触，溶発混入し，アーク遮断に影響を及ぼす。そこで，本研究ではPTFEに近い性質をもつと考えられるCF_4がCO_2に混入した場合，CO_2のプラズマクエンチング能力に与える影響を数値計算により検討した。