ナノ微粒子スラリープラズマ溶射法による緻密なセラミック膜形成の試み

摘要

現在のナノテクノロジーを基盤とした、金属ならびにセラミックス材料の精密成型焼成においては、粒径50～200nm程度の超微粒子を用いるプロセスがもはや主流である。これらの超微粒子をサスペンジョン搬送することは可能であるが、分散量を体積割合で5％以下に抑えた状態でないと、チューブ内壁に付着し狭窄が生じる。サスペンジョンにおける分散粒子濃度の減少は、溶射コーティングにおける製膜速度の低下を意味しており、産業応用への可能性を減衰させるものと予想される。新たなプラズマ溶射法を次世代の産業に適応させ、実用的なプロセスとして確立し体系化するには、ナノ微粒子を高濃度に含有しスラリーと称される高粘度のペースト材料を、安定して熱源まで搬送できる効果的な手法を考案しなければならない。