反応性プラズマ溶射法によるAlN皮膜の作製

摘要

本研究では厚膜の作製が可能であり、非酸化物セラミックスの成膜が可能な反応性プラズマ溶射法を利用し、AlN厚膜作製の可能性を調査することを目的としている。実験ではAlN皮膜作製の基礎的な知見を得るために、窒化反応に大きく影響すると考えられるプラズマ作動ガス中の窒素分率を変化させ、それに伴う作製皮膜の変化を観察し、また得られた皮膜に対する特性評価を行った。