加速度フィードバックによる3慣性位置決め装置の相対振動抑制

摘要

サーボモータとその駆動機器で構成される汎用サーボシステムは，ファクトリーオートメーションにおいて，生産装置の高付加価値化や高生産性を実現するため，製造，検査，搬送，工作等を行う産業用機械装置で幅広く使用されている．これらの装置では，運転動作の高速高精度化と併行して，機構の小型軽量化が推進されており，剛性の低下に起因した機械系の振動が問題になる場合がある．