Interferometer; Metrology; Thin Film; Pressure sensor;
机译:光谱干涉法和反射法用于表征多层镜
机译:一种新的Scheimpflug成像与部分相干干涉测量和低相干反射测缝的比较
机译:使用反射仪和光谱解析相移干涉仪确定膜厚和表面轮廓
机译:结合低相干干涉测量和光谱分辨反射测缝,用于非直径高纵横比微型制造和微机械结构和多层膜的非破坏性表征
机译:分子筛膜的分离机理和微观结构表征。
机译:低相干干涉成像成像的空间分辨交联表征
机译:光谱干涉法和反射法用于表征多层镜