机译:结合低相干干涉测量和光谱分辨反射测缝,用于小直径高纵横比微型制造和微机械结构的非破坏性表征,以及多层膜
interferometer; metrology; thin film; pressure sensor;
机译:光谱干涉法和反射法用于表征多层镜
机译:基于组合光谱干涉法和空间记录光谱椭圆形测定法的多膜结构的单次表征
机译:二维多角度光散射和光谱分辨的视线衰减相结合的烟灰光学表征及其对烟灰比色法的影响
机译:结合使用低相干干涉测量技术和光谱分辨反射测量技术,可无损表征小直径高纵横比的微加工和微加工结构以及多层膜
机译:光谱干涉法和反射法用于表征多层镜