机译:完整制造系统的集成工艺计划与调度系统研究-基于调度结果的工艺计划修改。
机译:使用牺牲释放工艺制造2D电容式微机械超声换能器(CMUT)阵列的绝缘基板的绝缘基板
机译:使用牺牲释放过程的压花电容微机械超声换能器的制造
机译:微机械换能器的过程规划和调度
机译:使用多用户MEMS工艺进行压电微机械超声换能器(PMUT)的医学成像设计与建模
机译:使用玻璃回流工艺制造真空密封的电容式微机械超声换能器阵列。
机译:使用SOI晶片的阳极粘接工艺进行空气耦合圆形电容微机械超声换能器的有限元模拟