Hochauflosende miniaturisierte Langenmesssysteme auf magnetischer Basis fur Klein- und Mikroantriebe

摘要

Es gibt einen wachsenden Bedarf an miniaturisierten Langenmesssystemen. Systeme auf magnetischer Basis sind im Vergleich zu optischen Messsystemen ausserst robust und gunstig, erreichen aber nicht deren Genauigkeit. Im Verbund-projekt Aquila werden neue Sensoren und lithographisch hergestellte Massstabe entwickelt, um den Genauigkeitsab-stand zu den optischen Gebern zu eliminieren, bei deutlich kleineren Abmessungen. Ein Demonstrator mit einer Mess-lange von 25 mm erreicht eine absolute Positioniergenauigkeit von kleiner 700 nm und eine bidirektionale Wiederholgenauigkeit kleiner gleich 110 nm. Er arbeitet absolut und benotigt somit beim Einschalten keine Referenzfahrt mehr. Die Leistungseigenschaften dieser neuen Losung werden in ersten Pilotanwendungen erprobt.