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Production technology of micromechanical vacuum gauge

机译：微机械真空测量仪的生产技术

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The article describes technological issues of micromechanical vacuum gauge manufacturing, designed for pressure measurements in the range from 10 to 10000 Pa

机译：本文介绍了微机械真空计制造的技术问题，设计用于压力测量范围为10至10000 PA

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来源
《International Conference on Vacuum Technique and Technology 》|2018年|395 p.|共4页
会议地点
作者
V N Gorobey; S A Konakov; R E Kuvandykov;
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正文语种
中图分类工程材料学 ;
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