ポイントオートフォーカス式内周輪郭測定法の開発

摘要

加工部品の内周輪郭形状測定として丸穴形状の直径、真円度、成形やプレス加工に用いられる雌金型の輪郭形状や粗さ測定、インターナルギヤの歯面測定など様々な測定要求がある。これらの測定は現在接触式や画像計測で行われているのが一般的であるが高精度測定を実現するために非接触ダイレクト測定の要求が高まっている。これに対して非接触輪郭形状測定機（MLP-2）の対物レンズ部にミラー光学系を組込み内径の側面を直接測定できる測定法を開発した。本報では測定精度を検証し、測定事例として薄肉ベアリングの内外輪内外周の真円度測定を行い本測定法の有効性を実証する。