噴射制御機構を導入した硬脆材料の微細加工装置の開発

摘要

マスクレス加工はマスキング加工と比較して加工時間短縮、使用砥粒量削減、深穴·深溝（高アスペクト比）加工等が可能であり、現状よりも加工能率の向上と加工精度の向上を達成することで使用範囲が広がることが期待される。そこで、本研究ではマスクレス加工における加工能率と加工精度の向上を目的として、噴射制御機構を導入した硬脆材料の微細加工装置の試作を行い、マスクレス加工にて各種パターニングを行い、本装置の実用性について確認を行った。なお、本報ではマスクレスブラスト加工をAJM （Abrasive Jet Machining）と称しており、以下同加工をAJMと記す。