AFMスクラッチ加工による研磨加工特性評価: アルミナ触針による加工特性

摘要

近年，研磨技術の高度化が求められている．そこでAFM触針を研磨加工における一粒の砥粒と考え，石英製光ファイバ端面に対して液中でスクラッチ加工を行い，AFM触針の材質，加工雰囲気及び加工荷重を変化させたときの研磨加工特性に及ぼす影響について評価を行っている．本検討では切れ刃としてアルミナ触針，ダイヤモンドを用い，加工雰囲気としてアルカリ性溶液を用いてスクラッチ加工を行い，研磨加工特性に及ぼす影響について検討を行った．