電界スラリー制御技術を用いた小径工具による研磨加工法の開発

摘要

近年の機械加工の高性能化に伴い，最終表面仕上げの対象となる製品は大型化，薄型化，高機能化，高精細化と益々多岐にわたってきている．一般に，最終仕上げ工程に利用される遊離砥粒研磨法では，オスカー式研磨法や，遊星運動型のリングポリッシヤーなど，被加工物に対して比較的大きな研磨定盤や研磨皿を用いた量産研磨加工がなされている．一方で，被加工物よりも小さな小径研磨工具（スモールツール）によって表面を仕上げる研磨加工法が，天文台用天体望遠鏡などの超大口径反射鏡の研磨仕上げや，非球面レンズの研磨仕上げ，超平滑面の修正研磨などに用いられている．