Atomic Force Microscope (AFM); Active Cantilever; CD-AFM; Thermally actuated Piezoresistive Cantilever; Adaptive Scan Speed Control; Q-Control;
机译:在基本面内弯曲模式下振荡的液体介质中,自驱动和自感应压电-AIN悬臂的设计相关性能
机译:快速原子力显微镜,具有自转导,自感应悬臂
机译:基于Sawyer-Tower电路电荷测量的压电悬臂执行器的精确,长期位移自检测
机译:自驱动,自感应悬臂,可快速测量CD
机译:自激,自感应PZT /二氧化硅压电微悬臂梁传感器的合成,制备和表征
机译:电荷自感应应用的压电悬臂执行器的优化设计
机译:适用于快速原子力显微镜,扫描探针光刻和阵列操作的自转换,自感应悬臂的偏转效率