Werkstoffe fur den Einsatz unter sauberkeitskritischen Bedingungen

摘要

Bei der Produktion unter sauberkeitskontrollierten Bedingungen kommt der Kontaminationskontrolle eine besondere Schlusselrolle zu. Dies beginnt zweifelsfrei bei der Auswahl einer geeigneten Reinraumtechnik zur Reduzierung des Eintrags luftgetragener Verunreinigungen (Partikelkontamination und chemische Verunreinigungen). Doch damit ist nur der erste Schritt getan. Stattdessen muss das Kontaminationspotenzial, das vom Bedienpersonal (Operator) ausgeht, die Kontaminationsabgabe von Fertigungseinrichtungen wahrend des Betriebs unter reinen Bedingungen, die Emissionen der verbauten Werkstoffe als auch der Produkte/Materialien, die in den sauberkeitskontrollierten Bereiche eingeschleust werden (Querkontaminationspotenzial), berucksichtigt werden. gewogenes System aus der gebaudetechnischen Luftaufbereitungstechnik (Reinraum) und den Produktionsanlagen mit den darin eingesetzten Werkstoffen, zu erhalten, mussen die Anforderungen und Aspekte der Reinraum- und Reinheitstauglichkeit erfullt sein. Um diesem Sachverhalt gerecht zu werden, wird der Fokus dieses Beitrags auf das Kontaminationsverhalten von Werkstoffen gesetzt. Hierunter versteht man die Reinraumund Reinheitstauglichkeit von Werkstoffen, mit den Teilaspekten der Partikel- und Aus-gasungsemission, der Reinigbarkeit von Werkstoffoberflachen und deren Chemikalienbestandigkeit. Dieser Beitrag nimmt sich der spezifischen Prufvorgehensweisen, den anzuwendenden Klassifizierungssystemen als auch der Bewertungsverfahren von Werkstoffen an.Produktionsanlagen und Werkstoffe, die fur sauberkeitskritische Prozesse in Reinraumen sowohl branchen- als auch produktubergreifend eingesetzt werden, konnen wegen international fehlender Pruf- und Bewertungsverfahren bislang nicht einheitlich klassifiziert werden. Die Zuordnung dieses Projekts zu den Zukunftsfeldern ist fur alle Bereiche der "Hightech-Strategie fur Deutschland" gegeben. Da alle Schlusseltechnologien bereits heute als auch zukunftig nur mittels Reinheitstechnologie realisierbar sind, wird dem Themenfeld der Reinraumtauglichkeit von Produktionsmitteln, sowohl aus der Fachwelt als auch aus der Politik, ein sehr hoher Stellenwert beigemessen. Hierfur stellen die laufenden Standardisierungsarbeiten und die wissenschaftlichen Weiterentwicklungen die notwendige Basis dar.