High-Contrast Subwavelength Grating Integrated VCSELs with a Large Fabrication Tolerance

机译：具有大的制造公差的高对比度亚波长光栅集成VCSEL

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We experimentally demonstrated a very large fabrication tolerance for the high-index-contrast subwavelength grating (HCG) integrated VCSELs, with similar performance over as large as ±20% variation in HCG critical dimension.

机译：我们通过实验证明了高折射率对比亚频长光栅（HCG）集成VCSEL的非常大的制造公差，具有与HCG关键尺寸的±20％变化相似的性能。

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来源
《International Nano-Optoelectronics Workshop》|2007年||共2页
会议地点
作者
Ye Zhou; Michael C. Y. Huang; Johannes Kern; Connie J. Chang-Hasnain;
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中图分类 TP241-53;
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