マイクロ波を用いた酸化物および炭素の混合粉末からの熱炭素還元による炭化物の合成

摘要

炭化ケイ素は、発熱体やフィルター、半導体など様々な工業用部材として利用されている重要な材料である。炭化ケイ素の工業的な合成はアチソン法で行われてきた。この方法では炭化ケイ素を安価で大量に合成できるが、合成に時間がかかり、また高純度の微粉末を得るためには粉砕や化学処理を必要とする。