机译:活性氧和/或氮气氛中铌靶材的脉冲功率磁控溅射
机译:使用脉冲直流或大功率脉冲磁控溅射溅射在Ar / N_2气氛中反应性沉积Al-N涂层
机译:AR和Ar / O-2大气中Zn / Al靶标的高功率脉冲磁控溅射:溅射工艺和偶氮膜的研究
机译:在反应性氧和/或氮气氛中的铌靶的脉冲功率磁控溅射
机译:用于薄膜晶体管应用的氧化锌的反应性大功率脉冲磁控溅射
机译:低温下大功率脉冲磁控溅射在铀上沉积的TiN膜
机译:高功率脉冲磁控溅射和不平衡磁控溅射技术相结合产生的多层氮化铬/氮化铌涂层的缺陷生长