optical lithography; RET; core and peripherals; PWQ; CAD data; OPC verification; NMQ;
机译:绕流建筑颗粒图像测速中处理方法的准确性验证
机译:基于响应面方法的镜片形状精度确定注塑工艺窗口
机译:开窗行为模型的验证:窗使用模式,室内温度和室内PM2.5浓度预测的准确性
机译:低于100nm节点的OPC精度和工艺窗口验证方法
机译:处理器验证的证明方法。
机译:研究过程验证的工业方法论(IMPROVER):系统生物学验证
机译:工艺窗口OPC验证:65 nm节点的干法与浸没式光刻