机译:平面线圈,电感耦合RF等离子体源中电磁场的理论和实验研究
机译:螺旋线圈在电感耦合微等离子体中漂浮金属线的理论电磁场计算
机译:带抽头感应线圈的感应耦合等离子体炬的等效电路和数值分析
机译:电感耦合射频等离子体的感应线圈和电磁耗散的驱动特性
机译:感应线圈几何形状对脉冲感应等离子体加速器工作特性的影响。
机译:感应线圈形状对薄型感应线圈和图案导向的线性位移传感器传感性能的影响
机译:AR +和Ti +离子能量分布对电感耦合RF等离子体溅射中RF电感线圈DC自偏置的依赖性。
机译:电感耦合等离子体(ICp)干蚀刻中三氯化硼/氯气体分子外延生长p型氮化铝镓的刻蚀特性及表面分析