SU-8; high aspect ratio; Ultra-thick resist; multilevel microstructures; stress; UV-LIGA; MIEL; DRIE;
机译:适用于MEMS的低应力超厚SU-8 UV光刻工艺
机译:使用低能离子束和光刻技术的生物MEMS高纵横比聚合物微结构和悬臂
机译:使用低能离子束和光刻技术的生物MEMS高纵横比聚合物微结构和悬臂
机译:浓苏-8的生物米光刻
机译:使用新型厚光刻技术的基于MEMS的磁性微结构和传感器。
机译:SU-8光刻胶的185 nm扩散光光刻技术原型制作的具有轴突分离的微流体长期梯度发生器
机译:具有轴突分离的微流体长期梯度发生器由SU-8光致抗蚀剂的185nm扩散光光谱法原型进行原型截例