LIGA; electro forming; sacrificial layer; PMMA; metal-filled polymer;
机译:可丝网印刷的牺牲制造工艺,可使用压电层在织物上实现悬臂以检测可穿戴应用的运动
机译:在微悬臂梁应用氧化物牺牲层上生长的BaTiO_3基铁电电容器的电性能
机译:通过使用pH响应微凝胶作为牺牲层来制作独立式多层膜
机译:用于制备电铸悬臂的LIGA微珠的牺牲层
机译:从材料到设备:(I)具有可生物降解牺牲层的超薄柔性可植入生物探针(II)金刚石的自旋注入和运输
机译:共价交联和胺活性的制作 通过吖内酯 - 含反应层与层之间的微胶囊大会 聚合物多层膜在牺牲微粒模板
机译:在微悬臂应用中生长在氧化物牺牲层上的BaTiO3基铁电电容器的电性能
机译:UV焙烧/固化光刻胶用作mEms制造中的牺牲层