【24h】

Contamination control using production test data

机译:使用生产测试数据进行污染控制

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摘要

This paper presents a methodology to identify suspect process steps during ramp and maturity of an IC fabrication line by utilizing the production functional testing results and to generate a defect Pareto to prioritize defect contamination control.
机译:本文通过利用生产功能检测结果并产生优先级污染控制优先考虑缺陷污染控制,呈现了一种方法来识别IC制造线的斜坡和成熟度的方法。

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