extreme ultraviolet lithography; EUV optics; surface contamination; multilayer mirrors; synchrotron radiation; reflectometry;
机译:PTB软X射线束线处EUV范围内的高精度辐射测定
机译:利用EUV脉冲激发的散射或发光辐射,检测激光等离子EUV源强烈辐照引起的材料表面变化
机译:同步辐射和低温辐射的紫外线辐射
机译:高速同步辐射在PTB辐射测量实验室使用激烈的同步辐射的寿命测试
机译:在强辐射热源下模拟材料腐蚀和寿命。
机译:比较和优化用于病房终端消毒的紫外线杀菌辐射系统:使用辐射测定法和商业测试卡的探索性研究
机译:具有同步辐射和低温辐射测量的紫外线辐射测量