BEOL; Dilute sulfuric-peroxide (DSP); Polymer removal; Inorganic chemical; Single-wafer vs. batch; Flash memory; Contact clean;
机译:在BEOL应用中比较使用无机化学品的单晶圆和批量聚合物清洁
机译:单晶圆清洗与批量清洗
机译:最小化晶圆表面电荷,以进行10 nm及以上的单晶圆湿法清洁
机译:BEOL中的单晶圆与批量湿式表面处理:闪存生产中使用无机化学品进行聚合物清洗的比较
机译:开发使用湿法铺网的纤维增强聚合物修复系统中表面准备的阈值。
机译:表面引发的原子转移自由基聚合制备精细定义的有机-无机杂化纳米材料
机译:通过化学接枝无机物质来控制聚合物表面结构的改性
机译:表面处理湿法清洗方法效果评价。