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【24h】

Single-Wafer vs. Batch Wet Surface Preparation in BEOL: a Comparison of Polymer Cleans using Inorganic Chemicals in Flash Memory Production

机译：BEOL中的单晶圆与批量湿式表面处理：闪存生产中使用无机化学品进行聚合物清洗的比较

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来源
《》|2006年|P.292-295|共4页
会议地点
作者
Couteau; T.; Dawson; G.; Halladay; J.; Archer; L.;
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作者单位

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种
中图分类工业技术;
关键词
入库时间 2022-08-26 14:54:30

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