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【24h】

Virtual Fab Environment for the Development and Evaluation of Copper CMP Run-to-Run Control Algorithms

机译:用于开发和评估铜CMP批量控制算法的虚拟Fab环境

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  • 来源
    《》|2003年|1|共1页
  • 会议地点 Colorado Springs CO(US);Colorado Springs CO(US)
  • 作者

    Scott Runnels; Thomas Laursen;

  • 作者单位

    Scott Runnels Consulting Los Alamos, New Mexico;

    Novellus Systems Chandler, Arizona;

  • 会议组织
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类
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