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Direct phase-shift measurement with transmitted deep-UV illumination

机译：通过传输的深紫色照明直接相移测量

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来源
《Conference on Photomask and X-ray mask technology》|1996年||共10页
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作者
Haruhiko Kusunose; Naoki Awamura; Hideo Takizawa; Koji Miyazaki; Takahiro Ode; Daikichi Awamura;
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正文语种
中图分类自动化技术、计算机技术;
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