机译:使用牺牲释放工艺制造2D电容式微机械超声换能器(CMUT)阵列的绝缘基板的绝缘基板
机译:在标准CMOS中制造的32 x 32电容式微加工超声换能器阵列
机译:在硅和电介质基板上低温制造浸入式电容微加工超声换能器
机译:在同一硅基板上制造高密度2D微加工超声换能器阵列和(CMOS)信号调理电子器件的经济有效且可制造的途径
机译:压电微机械超声换能器阵列的建模,制造和表征。
机译:具有成本效益的自底向上制造方案的压电微加工超声换能器用于毫米级测距
机译:用玻璃回流工艺制作真空密封电容微机械超声换能器阵列