ミニマルファブを用いた２層Al配線プロセスの開発（３）

摘要

我々は局所クリーン化技術でクリーンルームを不要とし、規格化した超小型の製造装置とウェーハで、１枚ずつ製造する超小型デバイス製造システム・ミニマルファブの開発を行っている[1]。現在、主要前工程装置は実用商品として既に販売している。但し、デバイス試作で必要な不純物拡散は、開発中のイオン注入に替えて、液体ドーパントを用いた熱拡散法を採用している。