化学気相堆積法及び水熱合成法を用いた(Bi,K)TiO_3薄膜作製の検討

摘要

[緒言] 正方晶を有数する強誘電体の(Bi,K)TiO_3は、比較的高いキュリー温度を有し、同じ正方晶を有するBaTiO_3等と比較して大きな結晶異方性(c/a比)値を有するため、その強誘電性や圧電性を用いた非鉛材料としての応用が期待できる。しかし構成元素のBiとKの高い蒸気圧から、密度の高い焼結体の作成が難しく、その研究例は必ずしも多くない。特に薄膜では作成例は非常に限られており、その作成法は確立しているとは言い難い。