アンバランスマグネトロンスパッタ装置の構築とポリカーボネート板へのPTFE撥水性薄膜合成

摘要

近年、撥水性のある素材が注目されており、この技術は自動車窓材の撥水化に利用されている．自動車窓材軽量化のために次世代窓材としてポリカーボネート（PC）が検討されている．本研究では、これまでポリフッ化ビニリデン（PVDF）をターゲットとして高周波マグネトロンスパッタにより、PC 上に水滴接触角100°程度の撥水性膜合成に成功した[1]．今回は、ポリテトラフルオロエチレン（PTFE）をターゲットに用いて、高周波マグネトロンスパッタリングにより 100°を超える撥水性薄膜を合成することを目的とし、高周波マグネトロンスパッタ装置を構築し、水滴接触角の計測を行った．