軸対称不足膨張マイクロ噴流のレインボーシュリーレン法による可視化計測

摘要

近年，マイクロスケールの超音速流れは，微小電気機械装置の冷却等，様々な産業分野で利用されているが，機器の小型化に伴い流れ場の高精度な測定が困難となっている．従来の超音速マイクロジェットの実験研究は，主としてシュリーレン法やシャドウグラフ法を用いた可視化計測あるいはマイクロピトー管を用いて噴流の中心軸上のピトー圧測定によって行われ，ショックセル長さや超音速領域の長さに及ぼすノズルの大きさとノズル圧力比の影響が調べられている．しかし，ピトー管の外径は，ジェット内部のピトー圧力の分布に強い影響を与えることが報告されている．