リソグラフィとゥエツトエッチングによる細径ステンレス管への密接スリットアレイの形成

摘要

リソグラフィは半導体集積回路の製造技術として1970年代から今日まで途切れたり停滞したりすることなくほぼ同じ比率で飛躍的に発展した。今日のスマー卜ホンやパーソナルコンピュータによるインターネット社会やIoT(Internet of Things)、AI (Artificial Intelligence)などの技術の誕生は、超微細集積回路技術に支えられており、リソグラフィ技術の発展なしにこれらの技術が誕生することはなかったであろう。しかし、社会はさらなる技術の進歩を求めており、リソグラフィにはナノメートル台の解像度が求められる微細化志向が続いている。