真空アーク蒸着法により作製したSi基板上Nd-Fe-B系磁石膜の諸特性に及ぼす放電エネルギーの影響

摘要

本研究では真空アーク蒸着法を用い，500 nm厚熱酸化膜付きSi基板上にNd-Fe-B磁石膜を作製する際，磁石膜のNd含有量や放電エネルギーをパラメータとして磁気特性ならびに機械特性を検討した。得られた知見と今後の課題を以下に示す。