屈折率分布型レンズアレイによる大面積均一投影露光

摘要

新方式の簡便安価な露光装置が実現可能であり、大面積露光に適用できることを実証した。マイクロ流路、レンズアレイなどの製作にリソグラフィを簡便安価に適用したいというニーズが生じている。しかし、パターン寸法が大きくても、対象物の表面がウエハほど平坦ではなく、大きさ、厚さが不定形となると、使用できる露光装置が見当たらなくなる。また、中小の企業や研究機関が少量生産を希望する場合が多く、ビニール囲いに天井フィルタを付けた程度の作業環境で使えることも求められる。そのため、筆者らは、こうした大パターン用リソグラフィに簡便安価に対応できる技術として、屈折率分布型レンズアレイを投影レンズとする投影露光装置を開発中である。その基本性能について報告する。