紫外線オゾン処理による塗布型IGZO-TFT の低温化プロセスとFET 特性

摘要

UV/O_3 アシスト加熱処理によりIGZO 薄膜内の有機系不純物を除去することで、塗布型 IGZO-TFT の低温プロセスを見出した。この低温プロセスにより、各種フレキシブルディスプレイ、センサ等が期待される。