MoKα特性X線を用いたアルミニウム材の透過ラインプロファイル解析

摘要

材料の結晶サイズゃ結晶形状などのミクロレべルでの微視的組織や，さらに微細な転位密度および移動などのナノレベルの研究にはSEMやTEMよる直接観察がこれまで主に行われてきた.しかし試料製作の際に加工が必要であり，微視的な組織状態が変化してしまうリスクを常に伴っている.一方，X線による回折線プロファイルには材料の微視的組織の情報が含まれており，ラインプロフアイルの解析を通して材料の転位密度や結晶子サィズの定量評価が可能である.また，X線によるラインプロファイル法はTEMによる方法に比べて簡便なだけでなく非破壊での評価が可能となる.近年，材料の弾性異方性を考慮した新たな手法が開発され，X線ラインプロファイルによる測定精度が飛躍的に向上しており，工業分野においても実用段階に入ったと言える.