大気圧LF プラズマジェットへの予備電離法の適用

摘要

大気圧LF プラズマジェット（以下, LF）は，医療や材料など様々な分野へ応用され研究が進められている(1)．しかし，プラズマの照射効果の再現性の悪さや，プラズマ生成に使用できるガス種が制限されることなどの課題がある．そこで，本研究では，LF プラズマジェットの上流に誘電体バリア放電（以下，DBD）を用いた予備電離法を適用し，それらの問題の解決・改善を試みた．