パワーモジュール用PCB超小型電流センサ：専用設計ツールの開発とセンサ試作実証

摘要

パワーデパイス·モジュールは省エネルギー社会のキーデバイスとして需要が拡大しており、今まで以上の信頼性が求められる。パワーモジュールの高信頼化を実現するためにはモジュールの全電流だけでなく内部のチップに流れる電流分布を正確に計測する必要がある。代表的な市販の電流センサとしてCT(Current Transformer)やロゴスキーコイルなどがある。それらは内蔵センサとして大型のパワーエレクトロニクス機器に適用されるほか、実験用として使用されている。しかし、それらのセンサは低インダクタンス化したパワーモジュール、特にロープロファイルモジュールに入れるにはサイズが大きすぎる。また、市販の電流センサは安価でないため、センサを多く利用すると高コスト化が問題になる(図1参照)。