IGBTモジュール用超小型電流センサの開発：高精度センサ構造の提案と専用設計環境の構築

摘要

パワーデバイス•モジュールは省エネルギー社会のキーデバイスとして需要が拡大しており、今まで以上の信頼性が求められる。パワーモジュールの高信頼化を実現するためにはモジュールの全電流だけでなく内部のチップに流れる電流分布を正確に計測する必要がある。代表的な市販の電流センサとしてCT(Current Transformer)やロゴスキーコイルがある。それらは広く内蔵センサとして大型のパワーエレクトロニクス機器に適用されるほか、実験用として使用されている。しかし、低インダクタンス化したパワーモジュール、特にロープロファイル•モジュールに入れるには大きすぎる。また、市販の電流センサは安価でないため、センサを多く利用すると高コスト化が問題になる。