Bridge circuits; Nanopositioning; Sensitivity; Signal to noise ratio; Temperature sensors;
机译:并行平均以降低MEMS电热位移传感器的热噪声
机译:MEMS电热位移传感器的两种激励模式的比较
机译:带有电热梯形执行器阵列的大型活塞位移MEMS反射镜,用于超低倾斜应用
机译:MEMS电热位移传感器的SNR改进
机译:使用电热执行器和电容位移传感器的反馈可控1D和2D微型定位器。
机译:大位移基里米启发电热MEMS扫描仪的设计与制作
机译:mEms电热位移传感器两种激励模式的比较