ドライエッチング技術の進展と今後の展望

摘要

半導体が「産業の米」と言われてから久しいが，高度情報化社会，そしてAIの時代を迎え，半導体デバイスはその中枢を担う基幹製品として必要不可欠なものとなってきている。筆者が半導体業界に入った1975年当時は，5mプロセスである16KビットDRAMの生産がようやく始まったところであった。そして2019年現在，5nmロジックの試作が行われている。この45年間のデバイスの微細化・高集積化の進展には目を見張るものがある。