2 層型ひずみ抵抗薄膜を用いた直圧式高温圧力センサの開発

摘要

近年、自動車のエンジン燃焼圧やプラントにおけるプロセスパラメーターのリアルタイム監視を目的として、小型、安全かつ安価な直圧式高温圧力センサの実現が期待されている。我々は、センサ出力電圧の温度依存性が小さい直圧式高温圧力センサの開発を目指して、金属ダイヤフラム上のひずみ抵抗薄膜を利用した高温圧力センサの研究を行っている。今回、2 層型ひずみ抵抗薄膜(TiCxOy/SiCxOy)を用いた圧力センサを作製し、大気中、室温から400 °Cの温度範囲で評価した結果、出力電圧の温度依存性が小さく400 °Cにおいても安定な特性が得られたので報告する。