Si基板上BaSi_2薄膜の低熱伝導率とその熱輸送機構

摘要

科学技術の進歩とともにIoT, IoHといったセンサ社会の到来が迫っている。それに伴いセンサ用電源の必要性が高まり、自立発電可能な熱電発電に期待が集まっている。また、センサが実装されるSiプラットフォームとの整合性、小型の点で、Si基板上薄膜熱電材料は最適と言える 。我々は、複雑結晶構造由来の極小熱伝導率（k）を示すことで知られるBaSi_2に注目した（バルクBaSi_2で1.56 Wm-1K-1 ）。今回、Si基板上BaSi_2薄膜の熱伝導率に注目して熱電性能を評価し、さらに熱輸送機構を明らかにするために熱伝導率について、第一原理計算を用いた理論検討を行った。