(Pb_xSr_(1-x))TiO_3薄膜における組成及び膜厚がドメイン構造に及ぼす影響

摘要

強誘電体薄膜では、ドメイン構造は歪みや膜厚に強く影響を受けるため、強誘電特性や圧電特性を設計する上で、それらの影響を明らかにすることは重要である。一ノ瀬らは、PbTiO_3薄膜をKTaO_3基板上に作製し、引っ張り応力がドメイン構造に及ぼす影響を調べた。その結果、強誘電相である a1/a2 ドメインが消失する温度は膜厚が減少するに伴い低下し、歪みの影響だけでは説明できないことが明らかになった。本研究では、相転移近傍での特性評価の観点から、室温近傍で立方晶-正方晶強誘電相転移を示す(Pb_xSr_(1-x))TiO_3 (PST)に着目し、組成及び膜厚がドメイン構造に及ぼす影響を明らかにすることを目的とした。