装置発熱を考慮したクリーンルーム用温熱環境シミュレータの開発:その７ 生産装置表面の放射温度の測定

摘要

本報では、生産装置からの発熱状況の把握を目的に開発した『装置放熱モニタリングシステム』を、半導体製造中のCR 内に設置した時の環境調査について報告する。最初にCR 内の無線通信強度、照度について環境調査を行い、システムの適用可能範囲を確認した。次に、稼働中の生産装置に対して、装置表面放射温度を24 時間測定した結果を報告する。最後に、『クリーンルーム用温熱環境シミュレータ』での使用を想定し、測定で得た装置表面放射温度から、発熱強度を定義する手法を説明する。